一种真空炉内复合冷却提速成晶设备的制作方法
技术特征：
技术总结
本发明提供了一种真空炉内复合冷却提速成晶设备，包括支撑架、水冷套和氩气管，水冷套呈锥形筒状，水冷套内设有循环水路，氩气管内置于设有进水管的支撑架内，并贯穿于水冷套内，氩气管在水冷套内缠绕若干圈，水冷套内壁上在紧贴氩气管的位置开有若干排气孔。本发明能提高晶体品质；能促进成晶速度；设计的冷气孔呈一定角度，极好的避免了气流互相干扰的情况，并且同原有的进气口形成高低呼应对晶棒从上到下的一个整体腔体保护。
技术研发人员：张新波
受保护的技术使用者：天津环际达科技有限公司
技术研发日：2017.07.19
技术公布日：2017.10.03
文档序号 :
【 11172473 】
技术研发人员：张新波
技术所有人：天津环际达科技有限公司
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
声 明 ：此信息收集于网络，如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们，我们会在第一时间删除
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