一种采用Ag‑Cu‑Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法与流程

1.一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法按以下步骤进行：

一、依次采用1000#、2000#、3000#的金刚石磨盘将AlON陶瓷的待焊面打磨至光亮无划痕，然后采用0.5μm的金刚石抛光剂对打磨后的AlON陶瓷的待焊面进行抛光，得到待焊AlON陶瓷；

二、依次采用120#、400#、1000#砂纸打磨Ag-Cu-Ti箔片的表面去除氧化膜，然后将打磨后的Ag-Cu-Ti箔片剪切成与待焊AlON陶瓷待焊面相同尺寸，得到钎料箔片；

二、将待焊AlON陶瓷、BN-Si₃N₄陶瓷和钎料箔片分别置于丙酮中超声清洗5min后吹干，得到清洗后的待焊AlON陶瓷、清洗后的BN-Si₃N₄陶瓷和清洗后的钎料箔片；

三、采用有机胶按照三明治结构对清洗后的待焊AlON陶瓷、清洗后的BN-Si₃N₄陶瓷和清洗后的钎料箔片进行装配，得到待焊试样；所述清洗后的钎料箔片置于清洗后的待焊AlON陶瓷和清洗后的BN-Si₃N₄陶瓷中间；

四、将待焊试样置于石墨磨具中，垂直于待焊试样待焊面的方向上施加1×10⁴Pa的压力，然后将待焊试样随石墨磨具放入真空钎焊炉中，当真空钎焊炉的真空度达到6×10^-3Pa后，先以10℃/min的升温速率将温度从室温升温至300℃，保温30min；再以10℃/min的升温速率将温度从300℃升温至750℃，然后以5℃/min的升温速率将温度从750℃升温至800℃～900℃，保温5min～25min；最后以5℃/min的降温速率将温度从800℃～900℃降温至300℃，再随炉冷却至室温，完成AlON陶瓷和BN-Si₃N₄陶瓷的连接。

2.根据权利要求1所述的一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于步骤二中所述Ag-Cu-Ti箔片中Al、Cu和Ti的质量百分比为69.5:27:3.5。

3.根据权利要求1所述的一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于步骤二得到的钎料箔片的厚度为100μm。

4.根据权利要求1所述的一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于步骤四中以5℃/min的升温速率将温度从750℃升温至825℃，保温15min。

5.根据权利要求1所述的一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于步骤四中以5℃/min的升温速率将温度从750℃升温至825℃，保温25min。

6.根据权利要求1所述的一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于步骤四中以5℃/min的升温速率将温度从750℃升温至850℃，保温5min。

7.根据权利要求1所述的一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于步骤四中以5℃/min的升温速率将温度从750℃升温至850℃，保温15min。

8.根据权利要求1所述的一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于步骤四中以5℃/min的升温速率将温度从750℃升温至850℃，保温25min。

9.根据权利要求1所述的一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于步骤四中以5℃/min的升温速率将温度从750℃升温至800℃，保温15min。

10.根据权利要求1所述的一种采用Ag-Cu-Ti钎料钎焊AlON陶瓷和氮化硼氮化硅复合陶瓷的方法，其特征在于步骤四中以5℃/min的升温速率将温度从750℃升温至900℃，保温15min。