一种清洗机及FOUP清洗机的制作方法

本实用新型涉及清洗技术领域，特别设置一种清洗机及FOUP清洗机。

背景技术：

通常对物件的清洗均会涉及到浸泡，但是，对于旋转清洗，容器底部需打通安装旋转电机，其不易实现浸泡溶液的长时间存储。

在半导体制造工艺中，传统FOUP清洗机不能较好的将晶圆的氟离子清除。实验表明在清洗前，先将FOUP置于70℃的去离子水中浸泡3小时，然后再进行清洗，能够有效去除氟离子。

技术实现要素：

本实用新型目的是提供一种清洗机及FOUP清洗机，解决现有技术中存在的上述问题。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：

一种清洗机，包括容器，所述容器的顶部内侧通过轴承悬挂设置有置物架，所述置物架的底部设置有磁悬浮定子，所述容器外部设置有与所述磁悬浮定子相匹配的磁悬浮转子，所述磁悬浮转子与电机连接；所述容器还连接有清洗进水管、浸泡进水管和排水管，所述清洗进水管伸入所述容器内，且其端部设置有喷嘴。

本实用新型的有益效果是：将待清洗物置于置物架，清洗过程中，电机驱动磁悬浮转子转动，转动的磁悬浮转子驱动磁悬浮定子转动，转动的磁悬浮定子带动置物架旋转，实现旋转清洗，且容器底部无需打通安装旋转电机，能实现溶液的长时间存储。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述容器内还设置有温度计和加热器。

采用上述进一步方案的有益效果是，加热器能够对容器内的溶液进行加热和烘干，温度计能够准确显示溶液温度。

进一步，所述容器材质为PVDF，所述加热器外套设有保护套，所述保护套的材质也为PVDF。

采用上述进一步方案的有益效果是，PVDF具有良好的耐化学腐蚀性、耐高温性和耐氧化性，能够有效避免容器内溶液被污染。

进一步，所述清洗进水管管路中设置有流量计。

采用上述进一步方案的有益效果是，流量计能够有效调节清洗溶液流速。

进一步，所述容器侧壁设置有排空传感器、满水位传感器和溢出传感器。

采用上述进一步方案的有益效果是，有效监测容器内水位情况。

进一步，所述容器顶部设置有排气管。

采用上述进一步方案的有益效果是，使容器与大气连通，便于容器内溶液的排除。

进一步，所述容器侧壁设置有密封门。

进一步，所述密封门为锁紧气缸密封门。

采用上述进两步方案的有益效果是，提高容器侧壁密封性，防止容器内溶液渗漏。

进一步，所述容器的底部外侧设置有防漏盘，所述防漏盘中设置有渗漏传感器。

采用上述进一步方案的有益效果是，防漏盘防止容器渗漏出的溶液污染工作台，且渗漏传感器能够及时检测出容器渗漏。

本实用新型另一技术方案如下：

一种FOUP清洗机，包括上述一种清洗机，所述置物架为FOUP支架。

本实用新型的有益效果是：此FOUP清洗机具有浸泡和清洗双重功能，能够实现在清洗前将FOUP置于70℃的去离子水中浸泡3小时，有效去除氟离子，且简化工艺流程，操作简单。

附图说明

图1为本实用新型一种清洗机正视方向结构示意图；

图2为本实用新型一种FOUP清洗机俯视方向结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、容器，2、轴承，3、置物架，4、磁悬浮定子，5、磁悬浮转子，6、电机，7、清洗进水管，71、流量计，8、浸泡进水管，9、排水管，10、喷嘴，11、温度计，12、加热器，121、保护套，13、排空传感器，14、满水位传感器，15、溢出传感器，16、排气管，17、密封门，18、防漏盘，19、FOUP，20、气动阀，21、气手动阀。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

如图1和图2所示，一种清洗机，包括容器1，所述容器1的顶部内侧通过轴承2悬挂设置有置物架3，所述置物架3的底部设置有磁悬浮定子4，所述容器1外部设置有与所述磁悬浮定子4相匹配的磁悬浮转子5,所述磁悬浮转子5与电机6连接；所述容器1还连接有清洗进水管7、浸泡进水管8和排水管9，所述清洗进水管7伸入所述容器1内，且其端部设置有喷嘴10，所述喷嘴10有多个，均匀分布在所述容器1的侧壁内侧。所述清洗进水管7管路中设置有流量计71。所述清洗进水管7和所述浸泡进水管8管路中均设置有气动阀20，所述排水管9管路中设置有气手动阀21，方便对管路的控制。所述容器1内还设置有温度计11和加热器12。所述容器1材质为PVDF，所述加热器12外套设有保护套121，所述保护套121的材质也为PVDF。所述容器1侧壁设置有排空传感器13、满水位传感器14和溢出传感器15，所述排空传感器13靠近所述容器1底部内侧，所述满水位传感器14与所述容器1的满水位线持平，所述满水位线高于所述置物架3顶层待清洗物，保证满水位时，置物架3上的待清洗物均浸泡在溶液里，所述溢出传感器15靠近所述容器1顶部内侧；根据各传感器安装位置的不同，实现对容器内水位情况的监测。所述容器1顶部设置有排气管16。所述容器1侧壁设置有密封门17。所述密封门17为锁紧气缸密封门。所述容器1的底部外侧设置有防漏盘18，所述防漏盘18中设置有渗漏传感器。

如图2所示，一种FOUP清洗机，包括上述一种清洗机，所述置物架3为FOUP支架。本实施例中FOUP支架为4列3层支架，FOUP19成4列3层放置。使用中，将待清洗的FOUP19轴对称放置于置物架3，关闭密封门17；浸泡进水管8输入去离子水至满水位传感器14报警时结束输入，并采用加热器12对容器1内的去离子水进行加热，保持容器1内的去离子水温度为70℃，浸泡3小后，停止加热；排出容器1内的去离子水至排空传感器13报警时，清洗进水管7输入去离子水，并同时启动电机6使磁悬浮定子4转速为100RPM，对待清洗的FOUP19进行旋转清洗；清洗30分钟后，再次排出容器1内的去离子水至排空传感器13报警时，调节电机6使磁悬浮定子4转速为150RPM，并采用加热器12加热，保持容器1内温度120℃1小时，则清洗结束，取出FOUP19。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。