组装式海绵刷的制作方法
1.本实用新型有关于一种组装式海绵刷，尤其涉及一种指状式或方柱式的触面清洁海绵，特别是指当接触晶圆时，一开始接触的是面，使接触面积大且受力均匀，除pva触面清洁海绵提供刷洗同时提供出水，其余非海绵部分皆不提供出水，可集中出水位置于各该触面清洁海绵，以利提升清洁晶圆效果的海绵刷。
背景技术：
2.传统的海绵刷接触晶圆的部分为圆柱式，如图9所示。当接触晶圆时，一开始接触是“线”，因变形量增加而变大，藉此来达到清洁效果。
3.然而，此传统结构的海绵刷缺点在于，当海绵的硬度不同时，将影响其变形量，进而影响清洁效果。因此，一般无法符合使用者于实际使用时所需。
技术实现要素：
4.本实用新型的主要目的在于，克服已知技术所遭遇的上述问题，并提供一种组装式海绵刷，其有效接触晶圆的部分为pva海绵发泡材质，其余部分皆为非吸水材质，以此组装式结构可以提供更弹性的客制化服务。
5.本创作的另一目的在于，提供一种减少海绵体积60%以上，提升自身洁净度的组装式海绵刷。
6.本创作的另一目的在于，提供一种可任意排列接触晶圆的海绵满足客户需要，如蜂巢式排列、等距离排列、螺旋式排列、或双向螺旋式排列等的组装式海绵刷。
7.本创作的另一目的在于，提供一种除pva海绵部分提供刷洗同时提供出水，其余非海绵部分皆不提供出水，可集中出水位置于海绵部分，以利清洁晶圆的组装式海绵刷。
8.本创作的另一目的在于，提供一种喷嘴与海绵混合排列而形成混合式的清洁方式，可防止海绵表面异物残留，达到提升清洁效果的组装式海绵刷。
9.为达以上目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种组装式海绵刷，其特征在于，其包括：一载体，由不吸水的塑性材质制成，呈圆管状，其两端面各凸设有一底座，外壁则沿轴向剖设有数条间隔等距的t形凸缘，且各该t形凸缘于其四周侧边各设有一沟槽；数个海绵条，由发泡材质制成，分别嵌设于该载体的每一沟槽中，每一海绵条上开设有数个模孔，各该模孔于中心形成一出水流道，且各该模孔彼此相距一孔距；二个圆环形固定件，分别具有一固定贯孔，对应套设于该载体且分别结合于两端的底座上，用以封闭固定嵌设在每一沟槽中的海绵条；以及一清洁单元，包含数个触面清洁海绵及数个喷嘴，系分别设于各该海绵条的模孔上，各该触面清洁海绵与各该喷嘴可视用户需要混合配置，并能置换更替依序排列或任意排列组合于各该海绵条上以提供混合式的清洁方式，当各该触面清洁海绵接触晶圆时，一开始接触的是面，使接触面积大且受力均匀，并仅以各该触面清洁海绵提供刷洗同时提供出水，可集中出水位置于各该触面清洁海绵，以利提升清洁晶圆效果。
10.于上述实施例中，所述海绵条的剖面为i型，其上模孔的孔洞型态为圆形、椭圆形、
多边形中的任一种或其组合的环状体。
11.于上述实施例中，所述底座的外周侧具有外螺纹，所述圆环形固定件具有面向该固定贯孔的内螺纹，该内螺纹与该外螺纹啮合。
12.于上述实施例中，所述触面清洁海绵为指状式清洁海绵。
13.于上述实施例中，所述触面清洁海绵为方柱式清洁海绵。
14.于上述实施例中，所述触面清洁海绵为指状式与方柱式清洁海绵。
15.于上述实施例中，所述海绵条上的数个模孔之间的孔距为等间距或不等间距或者是等间距和不等间距的组合。
16.于上述实施例中，所述触面清洁海绵以蜂巢式、等距离、螺旋式、或双向螺旋式的排列方式设置。
17.于上述实施例中，所述触面清洁海绵由聚乙烯醇（polyvinylalcohol, pva）海绵发泡材质制成。
18.于上述实施例中，所述海绵条为i形端面，具有卡掣端及较该卡掣端窄小的嵌卡端，该卡掣端与该嵌卡端相接处设有一凹部，利用该卡掣端使其固定于该载体上，而所述t形凸缘于其四周侧边设有与该海绵条的嵌卡端对应的沟槽，使该嵌卡端得以嵌合于该沟槽中，而该沟槽上方所形成的t形凸缘的突部亦可同时抵制于该海绵条的凹部。
附图说明
19.图1是本实用新型的载体结构示意图。
20.图2是本实用新型的海绵条结构示意图。
21.图3a
‑
图3c是本实用新型的已置入海绵条的载体与圆环形固定件的分解示意图。
22.图4是本实用新型已置入海绵条的载体与圆环形固定件的组装示意图。
23.图5是本实用新型组装式海绵刷的局部立体示意图。
24.图6是本实用新型的喷嘴与触面清洁海绵的配置示意图。
25.图6a是本实用新型的喷嘴与触面清洁海绵的配置展开示意图。
26.图7是本实用新型的触面清洁海绵的结构示意图。
27.图7a是指状式触面清洁海绵的结构示意图。
28.图7b是方柱式触面清洁海绵的结构示意图。
29.图8是本实用新型所有出水集中在触面清洁海绵的位置示意图。
30.图9是传统以圆柱式海绵接触晶圆的海绵刷示意图，右边所示的即为左图中的圆柱式海绵。
31.符号说明：
32.组装式海绵刷100
33.载体1
34.底座11、12
35.外螺纹111、121
36.t形凸缘13
37.沟槽14
38.海绵条2
39.模孔21
40.出水流道22
41.卡掣端23
42.嵌卡端24
43.凹部25
44.圆环形固定件3
45.固定贯孔31
46.内螺纹32
47.清洁单元4
48.触面清洁海绵41
49.指状式清洁海绵41ａ
50.方柱式清洁海绵41ｂ
51.喷嘴42。
具体实施方式
52.请参阅图1～图8所示，分别为本实用新型的载体结构示意图、本实用新型的海绵条结构示意图、本实用新型已置入海绵条的载体与圆环形固定件的分解示意图、本实用新型已置入海绵条的载体与圆环形固定件的组装示意图、本实用新型组装式海绵刷的局部立体示意图、本实用新型的喷嘴与触面清洁海绵配置展开示意图、本实用新型触面清洁海绵结构示意图（包括指状式与方柱式）、及本实用新型所有出水集中在触面清洁海绵位置的示意图。如图所示：本实用新型为一种组装式海绵刷100，其包括一载体1、数个海绵条2、二圆环形固定件3、以及一清洁单元4所构成。
53.上述所提的载体1为一不吸水的塑性材质，呈圆管状，其两端面各凸设有一底座11、12，各该底座11、12的外周侧具有一外螺纹111、121，而该载体1外壁沿轴向剖设有数条间隔等距的t形凸缘13，且各该t形凸缘13于其四周侧边各设有一沟槽14，如图1所示。
54.该数个海绵条2为发泡材质，分别嵌设于该载体1的每一沟槽14中。每一海绵条2上开设有数个模孔21，各该模孔21的孔洞型态概呈剖面为i型的圆形、椭圆形或多边形中的任一种或其组合的环状体。在各该模孔21中心形成有一出水流道22，且各该模孔21彼此相距一孔距，该孔距可为等间距或不等间距或者是二者组合，如图2所示。
55.该二圆环形固定件3分别具有一固定贯孔31及一面向该固定贯孔31的一内螺纹32，对应套设于该载体1且分别结合于载体1两端的底座11、12上，用以封闭固定嵌设在每一沟槽14中的海绵条2，如图3a
‑
图3c及图4所示。
56.该清洁单元4包含数个触面清洁海绵41及数个喷嘴42，分别设于各该海绵条2的模孔21上，各该触面清洁海绵41为聚乙烯醇（polyvinyl alcohol, pva）海绵发泡材质，其与各该喷嘴42可视用户需要混合配置，并能置换更替依序排列或任意排列组合于各该海绵条2上，提供混合式的清洁方式，如图5所示。如是，藉由上述揭露的装置构成一全新的组装式海绵刷100。
57.当组装时，本创作于一较佳实施例中，所提海绵条2是一种成型为具有宽大的卡掣端23及较该卡掣端23窄小的嵌卡端24的发泡材质，最佳的形状设为i形端面，在该卡掣端23
与该嵌卡端24相接处设有一凹部25，利用该宽大的卡掣端23使其可稳固地固定于该载体上，而各该t形凸缘13于其四周侧边设有对应各该海绵条2的嵌卡端24的深度及厚度的沟槽14，使该嵌卡端24得以嵌合于该沟槽14中，而各该沟槽14上方所形成的t形凸缘13突部亦可同时抵制于各该海绵条2的凹部25。
58.将数个发泡完成后的海绵条2分别置入该载体1的数条沟槽14，满布如图3所示。再将二圆环形固定件3置入该载体1两端的底座11、12上，通过该内螺纹32与该外螺纹111、121啮合，固定满布的海绵条2，如图4所示。
59.再将数个触面清洁海绵41及数个喷嘴42设于各该海绵条2的模孔21上，可提供客制化喷嘴42配置与触面清洁海绵41形状，使各该触面清洁海绵41与各该喷嘴42可视用户需要混合排列配置，如图5、图6及图6a所示。喷嘴42与触面清洁海绵41能置换更替依序排列或任意排列组合于各该海绵条2上，提供混合式的清洁方式，可防止海绵表面异物残留，以提升清洁效果。例如各该触面清洁海绵41可以蜂巢式、等距离、螺旋式、或双向螺旋式的排列方式进行设置。而所提的各该触面清洁海绵41可为指状式清洁海绵41a或方柱式清洁海绵41b或者是指状式与方柱式清洁海绵的组合，如图7及图7a、图7b所示。藉此，当各该触面清洁海绵４１（指状式或方柱式）接触晶圆时，一开始接触的是面，使接触面积大且受力均匀，除pva触面清洁海绵41提供刷洗同时提供出水，其余非海绵部分皆不提供出水，可集中出水位置于各该触面清洁海绵41，以利提升清洁晶圆效果，不会因海绵的软硬影响其接触面积，造成清洁效果下降，如图8所示。
60.本创作提出一组装式海绵刷，其有效接触晶圆的部分为pva海绵发泡材质，其余部分皆为非吸水材质。此组装式结构可以提供更弹性的客制化服务，其优势如下：
61.1.本创作减少海绵体积60%以上，提升自身洁净度。
62.2.本创作可任意排列接触晶圆的海绵满足客户需要，如蜂巢式排列、等距离排列、螺旋式排列、或双向螺旋式排列等等。
63.3.除pva海绵部分提供刷洗同时提供出水，其余非海绵部分皆不提供出水，可集中出水位置于海绵部分，以利清洁晶圆。
64.4.提供混合式的清洁方式：喷嘴与海绵混合排列，可防止海绵表面异物残留，达到提升清洁效果。
65.综上所述，本实用新型的一种组装式海绵刷，可有效改善现有技术的种种缺点，当触面清洁海绵（指状式或方柱式）接触晶圆时，一开始接触的是面，使接触面积大且受力均匀，除pva触面清洁海绵提供刷洗同时提供出水，其余非海绵部分皆不提供出水，可集中出水位置于各该触面清洁海绵，以利提升清洁晶圆效果，不会因海绵的软硬影响其接触面积，造成清洁效果下降，进而使本创作的产生能更进步、更实用、更符合使用者所须，确已符合新型专利申请的要件，依法提出专利申请。
66.但以上所述的仅为本实用新型的较佳实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围。故，凡依本实用新型申请专利范围及新型说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
文档序号 :
【 28127748 】
技术研发人员：顾致安,庄子彦,赵宏杰,张富强
技术所有人：东安开发股份有限公司
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
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