组装式海绵刷的制作方法
技术特征：
1.一种组装式海绵刷，其特征在于，其包括：一载体，由不吸水的塑性材质制成，呈圆管状，其两端面各凸设有一底座，外壁则沿轴向剖设有数条间隔等距的t形凸缘，且各该t形凸缘于其四周侧边各设有一沟槽；数个海绵条，由发泡材质制成，分别嵌设于该载体的每一沟槽中，每一海绵条上开设有数个模孔，各该模孔于中心形成一出水流道，且各该模孔彼此相距一孔距；二个圆环形固定件，分别具有一固定贯孔，对应套设于该载体且分别结合于两端的底座上，用以封闭固定嵌设在每一沟槽中的海绵条；以及一清洁单元，包含数个触面清洁海绵及数个喷嘴，系分别设于各该海绵条的模孔上，各该触面清洁海绵与各该喷嘴可视用户需要混合配置，并能置换更替依序排列或任意排列组合于各该海绵条上以提供混合式的清洁方式，当各该触面清洁海绵接触晶圆时，一开始接触的是面，使接触面积大且受力均匀，并仅以各该触面清洁海绵提供刷洗同时提供出水，可集中出水位置于各该触面清洁海绵，以利提升清洁晶圆效果。2.如权利要求1所述的组装式海绵刷，其特征在于，所述海绵条的剖面为i型，其上模孔的孔洞型态为圆形、椭圆形、多边形中的任一种或其组合的环状体。3.如权利要求1所述的组装式海绵刷，其特征在于，所述底座的外周侧具有外螺纹，所述圆环形固定件具有面向该固定贯孔的内螺纹，该内螺纹与该外螺纹啮合。4.如权利要求1所述的组装式海绵刷，其特征在于，所述触面清洁海绵为指状式清洁海绵。5.如权利要求1所述的组装式海绵刷，其特征在于，所述触面清洁海绵为方柱式清洁海绵。6.如权利要求1所述的组装式海绵刷，其特征在于，所述触面清洁海绵为指状式与方柱式清洁海绵。7.如权利要求1所述的组装式海绵刷，其特征在于，所述海绵条上的数个模孔之间的孔距为等间距和/或不等间距。8.如权利要求1所述的组装式海绵刷，其特征在于，所述触面清洁海绵以蜂巢式、等距离、螺旋式、或双向螺旋式设置。9.如权利要求1所述的组装式海绵刷，其特征在于，所述触面清洁海绵由聚乙烯醇海绵发泡材质制成。10.如权利要求1所述的组装式海绵刷，其特征在于，所述海绵条为i形端面，具有卡掣端及较该卡掣端窄小的嵌卡端，该卡掣端与该嵌卡端相接处设有一凹部，利用该卡掣端使其固定于该载体上，而所述t形凸缘于其四周侧边设有与该海绵条的嵌卡端对应的沟槽，使该嵌卡端得以嵌合于该沟槽中，而该沟槽上方所形成的t形凸缘的突部亦可同时抵制于该海绵条的凹部。
技术总结
一种组装式海绵刷，其包括一不吸水的塑性材质的载体、数个发泡材质且嵌设于该载体的每一沟槽中的海绵条、二对应套设于该载体且分别结合于其两端底座上的圆环形固定件、以及一包含数个触面海绵与数个喷嘴分别混合设于各该海绵条模孔上的清洁单元所构成。藉此，当各该触面清洁海绵（指状式或方柱式）接触晶圆时，一开始接触的是面，使接触面积大且受力均匀，除PVA触面清洁海绵提供刷洗同时提供出水，其余非海绵部分皆不提供出水，可集中出水位置于各该触面清洁海绵，以利提升清洁晶圆效果，不会因海绵的软硬影响其接触面积，造成清洁效果下降。降。降。
技术研发人员：顾致安 庄子彦 赵宏杰 张富强
受保护的技术使用者：东安开发股份有限公司
技术研发日：2021.04.08
技术公布日：2021/12/21
文档序号 :
【 28127748 】
技术研发人员：顾致安,庄子彦,赵宏杰,张富强
技术所有人：东安开发股份有限公司
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
声 明 ：此信息收集于网络，如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们，我们会在第一时间删除
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