大行程三维纳米柔性运动平台的制作方法
[0075]在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0076]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0077]在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0078]在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0079]在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
[0080]尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
【主权项】
1.一种大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括: 基座； 终端平台，所述终端平台在Z向上位于所述基座的上方，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧； X向驱动器和Y向驱动器； 第一 Z向柔性解耦件和第二 Z向柔性解耦件，所述第一 Z向柔性解耦件和所述第二 Z向柔性解耦件中的每一个沿Z向延伸，所述第一 Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连，所述第二Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连；以及 第一放大杆和第二放大杆，所述第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与所述基座相连，所述第一放大杆的上端通过第一上柔性铰链与所述第一 Z向柔性解耦件相连，所述第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与所述基座相连，所述第二放大杆的上端通过第二上柔性铰链与所述第二 Z向柔性解耦件相连，其中所述X向驱动器与所述第一放大杆相连，所述Y向驱动器与所述第二放大杆相连。2.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一Z向柔性解耦件为两个且两个所述第一 Z向柔性解耦件相对Z向对称，所述第二 Z向柔性解耦件为两个且两个所述第二 Z向柔性解耦件相对Z向对称。3.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括: 第一连接件，所述第一连接件与所述第一 Z向柔性解耦件的上端相连，所述第一连接件通过所述第一上柔性铰链与所述第一放大杆的上端相连； L形的第二连接件，所述第二连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第二连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第二连接件的水平肢与所述第一 Z向柔性解耦件的下端相连； 第三连接件，所述第三连接件与所述第二 Z向柔性解耦件的上端相连，所述第三连接件通过所述第二上柔性铰链与所述第二放大杆的上端相连；和 L形的第四连接件，所述第四连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第四连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第四连接件的水平肢与所述第二 Z向柔性解耦件的下端相连。4.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括: 第一 X向连接件，所述第一 X向连接件沿X向延伸，所述第一 X向连接件的一端与所述X向驱动器相连，所述第一 X向连接件的另一端通过第一柔性铰链与所述第一放大杆相连；和 第一 Y向连接件，所述第一 Y向连接件沿Y向延伸，所述第一 Y向连接件的一端与所述Y向驱动器相连，所述第一 Y向连接件的另一端通过第二柔性铰链与所述第二放大杆相连。5.根据权利要求4所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括: 第一柔性解耦件，所述第一柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第一柔性解耦件的另一端与所述第一 X向连接件相连；和 第二柔性解耦件，所述第二柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第二柔性解耦件的另一端与所述第一 Y向连接件相连。6.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述第一柔性解耦件沿Y向延伸，所述第二柔性解耦件沿X向延伸。7.根据权利要求1所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括: 第三Z向柔性解耦件和第四Z向柔性解耦件，所述第三Z向柔性解耦件和所述第四Z向柔性解耦件中的每一个沿Z向延伸，所述第三Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连，所述第四Z向柔性解耦件的一端与所述终端平台相连；以及 第三放大杆和第四放大杆，所述第三放大杆的下端通过第三下柔性铰链与所述基座相连，所述第三放大杆的上端通过第三上柔性铰链与所述第三Z向柔性解耦件相连，所述第四放大杆的下端通过第四下柔性铰链与所述基座相连，所述第四放大杆的上端通过第四上柔性铰链与所述第四Z向柔性解耦件相连。8.根据权利要求1-7中任一项所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括: 第五连接件，所述第五连接件与所述第三Z向柔性解耦件的上端相连，所述第五连接件通过所述第三上柔性铰链与所述第三放大杆的上端相连； L形的第六连接件，所述第六连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第六连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第六连接件的水平肢与所述第三Z向柔性解耦件的下端相连； 第七连接件，所述第七连接件与所述第四Z向柔性解耦件的上端相连，所述第七连接件通过所述第四上柔性铰链与所述第四放大杆的上端相连；和 L形的第八连接件，所述第八连接件的竖直肢沿Z向延伸，所述第八连接件的竖直肢的上端与所述终端平台相连，所述第八连接件的水平肢与所述第四Z向柔性解耦件的下端相连； 第二 X向连接件，所述第二 X向连接件沿X向延伸，所述第二 X向连接件的一端通过第三柔性铰链与所述第三放大杆相连；和 第二 Y向连接件，所述第二 Y向连接件沿Y向延伸，所述第二 Y向连接件的一端通过第四柔性铰链与所述第四放大杆相连。9.根据权利要求1-8中任一项所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于，进一步包括: 第三柔性解耦件，所述第三柔性解耦件沿Y向延伸，所述第三柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第三柔性解耦件的另一端与所述第二 X向连接件相连；和 第四柔性解耦件，所述第四柔性解耦件沿X向延伸，所述第四柔性解耦件的一端与所述基座相连，所述第四柔性解耦件的另一端与所述第二 Y向连接件相连。10.根据权利要求7所述的大行程三维纳米柔性运动平台，其特征在于， 所述第一 Z向柔性解耦件与所述第三Z向柔性解耦件相对YOZ平面对称，所述第二 Z向柔性解耦件与所述第四Z向柔性解耦件相对XOZ平面对称， 所述第一放大杆与所述第三放大杆相对YOZ平面对称，所述第二放大杆与所述第四放大杆相对XOZ平面对称。
【专利摘要】本发明公开了一种大行程三维纳米柔性运动平台。所述大行程三维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向驱动器和Y向驱动器；第一Z向柔性解耦件和第二Z向柔性解耦件，第一Z向柔性解耦件的一端和第二Z向柔性解耦件的一端与终端平台相连；以及第一放大杆和第二放大杆，第一放大杆的下端通过第一下柔性铰链与基座相连且上端通过第一上柔性铰链与第一Z向柔性解耦件相连，第二放大杆的下端通过第二下柔性铰链与基座相连且上端通过第二上柔性铰链与第二Z向柔性解耦件相连，X向驱动器与第一放大杆相连，Y向驱动器与第二放大杆相连。所述大行程三维纳米柔性运动平台具有平面尺寸小、运动精度高等优点，兼具厘米级大行程和纳米级精度的优点。
【IPC分类】G12B9/10, G12B5/00
【公开号】CN104934075
【申请号】CN201510293541
【发明人】张震, 汤佳骏, 王鹏, 闫鹏
【申请人】清华大学
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2015年6月1日
文档序号 :
【 9218284 】
技术研发人员：张震,汤佳骏,王鹏,闫鹏
技术所有人：清华大学
备 注：该技术已申请专利，仅供学习研究，如用于商业用途，请联系技术所有人。
声 明 ：此信息收集于网络，如果你是此专利的发明人不想本网站收录此信息请联系我们，我们会在第一时间删除
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